Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
Переведенное название | Molecular Layering Synthesis and Investigation of Nanostructured Oxide Layers in High Aspect Ratio Substrates |
---|---|
Язык оригинала | русский |
Страницы (с-по) | 61-71 |
Число страниц | 11 |
Журнал | Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника |
Том | 27 |
Номер выпуска | 4 |
DOI | |
Состояние | Опубликовано - 28 сен 2024 |
ID: 125310802