TY - PAT

T1 - Автоматизированное устройство для формирования тонкопленочных покрытий наноразмерной толщины методом послойной сборки

AU - Раскин, Тимофей Кириллович

AU - Селютин, Артем Александрович

AU - Рудакова, Аида Витальевна

AU - Бардакова, Александра Валерьевна

AU - Буланин, Кирилл Михайлович

PY - 2025/7/14

Y1 - 2025/7/14

N2 - Изобретение относится к области нанотехнологий и предназначено для формирования тонкопленочных покрытий наноразмерной толщины на поверхности широкого круга подложек методом полислойной сборки, которые широко используются в солнечной энергетике, электрохимии, катализе, оптике, электронике, сенсорике, трибологии, металлургии и других отраслях материаловедения. Автоматизированное устройство содержит герметичный в виде цилиндрического сосуда, изготовленного из прозрачного химически стойкого материала, установлено в вертикальном положении. Для контроля газовой атмосферы в герметичном корпусе крышка сосуда соединена с баллоном, наполненным газом. Держатель подложки неподвижно зафиксирован внутри герметичного корпуса. Подача и отвод растворов реактивов и растворителя в герметичный корпус до необходимого уровня осуществляется из закрытых емкостей по трубкам с помощью датчика контроля уровня жидкости в корпусе, наносов с реверсным потоком для подачи растворов реактивов и системы подачи чистого растворителя и слива использованного растворителя, включающей насос с реверсивным потоком и перепускной электромагнитный клапан, который соединен одной трубкой с закрытой емкостью с чистым растворителем и одной трубкой с емкостью для использованного растворителя, синхронизированной работой которых управляет программируемый блок управления. Технический результат настоящего изобретения заключается в повышении качества получаемых тонкопленочных покрытий, снижении расхода реагентов и повышении безопасности и экологичности процесса за счет возможности жесткого контроля атмосферы в герметичном корпусе с держателем подложки, предназначенного для проведения процесса формирования покрытий. Техническим результатом является также снижение себестоимости получаемых покрытий за счет увеличения производительности процесса благодаря возможности держателя одновременно удерживать более одной подложки и сокращению времени процесса за счёт уменьшения количества манипуляций, обусловленное системе подачи и отвода реагентов и растворителя.1 н.п.ф-лы, 11 илл., 1 табл.

AB - Изобретение относится к области нанотехнологий и предназначено для формирования тонкопленочных покрытий наноразмерной толщины на поверхности широкого круга подложек методом полислойной сборки, которые широко используются в солнечной энергетике, электрохимии, катализе, оптике, электронике, сенсорике, трибологии, металлургии и других отраслях материаловедения. Автоматизированное устройство содержит герметичный в виде цилиндрического сосуда, изготовленного из прозрачного химически стойкого материала, установлено в вертикальном положении. Для контроля газовой атмосферы в герметичном корпусе крышка сосуда соединена с баллоном, наполненным газом. Держатель подложки неподвижно зафиксирован внутри герметичного корпуса. Подача и отвод растворов реактивов и растворителя в герметичный корпус до необходимого уровня осуществляется из закрытых емкостей по трубкам с помощью датчика контроля уровня жидкости в корпусе, наносов с реверсным потоком для подачи растворов реактивов и системы подачи чистого растворителя и слива использованного растворителя, включающей насос с реверсивным потоком и перепускной электромагнитный клапан, который соединен одной трубкой с закрытой емкостью с чистым растворителем и одной трубкой с емкостью для использованного растворителя, синхронизированной работой которых управляет программируемый блок управления. Технический результат настоящего изобретения заключается в повышении качества получаемых тонкопленочных покрытий, снижении расхода реагентов и повышении безопасности и экологичности процесса за счет возможности жесткого контроля атмосферы в герметичном корпусе с держателем подложки, предназначенного для проведения процесса формирования покрытий. Техническим результатом является также снижение себестоимости получаемых покрытий за счет увеличения производительности процесса благодаря возможности держателя одновременно удерживать более одной подложки и сокращению времени процесса за счёт уменьшения количества манипуляций, обусловленное системе подачи и отвода реагентов и растворителя.1 н.п.ф-лы, 11 илл., 1 табл.

UR - https://www1.fips.ru/iiss/document.xhtml?faces-redirect=true&id=22e26be69965f5df74202202d7f35f1e

M3 - патент

M1 - 2843502

Y2 - 2024/12/16

ER -