Изобретение относится к области нанотехнологий и предназначено для формирования тонкопленочных покрытий наноразмерной толщины на поверхности широкого круга подложек методом полислойной сборки, которые широко используются в солнечной энергетике, электрохимии, катализе, оптике, электронике, сенсорике, трибологии, металлургии и других отраслях материаловедения. Автоматизированное устройство содержит герметичный в виде цилиндрического сосуда, изготовленного из прозрачного химически стойкого материала, установлено в вертикальном положении. Для контроля газовой атмосферы в герметичном корпусе крышка сосуда соединена с баллоном, наполненным газом. Держатель подложки неподвижно зафиксирован внутри герметичного корпуса. Подача и отвод растворов реактивов и растворителя в герметичный корпус до необходимого уровня осуществляется из закрытых емкостей по трубкам с помощью датчика контроля уровня жидкости в корпусе, наносов с реверсным потоком для подачи растворов реактивов и системы подачи чистого растворителя и слива использованного растворителя, включающей насос с реверсивным потоком и перепускной электромагнитный клапан, который соединен одной трубкой с закрытой емкостью с чистым растворителем и одной трубкой с емкостью для использованного растворителя, синхронизированной работой которых управляет программируемый блок управления. Технический результат настоящего изобретения заключается в повышении качества получаемых тонкопленочных покрытий, снижении расхода реагентов и повышении безопасности и экологичности процесса за счет возможности жесткого контроля атмосферы в герметичном корпусе с держателем подложки, предназначенного для проведения процесса формирования покрытий. Техническим результатом является также снижение себестоимости получаемых покрытий за счет увеличения производительности процесса благодаря возможности держателя одновременно удерживать более одной подложки и сокращению времени процесса за счёт уменьшения количества манипуляций, обусловленное системе подачи и отвода реагентов и растворителя.
1 н.п.ф-лы, 11 илл., 1 табл.