Комплексная диэлектрическая проницаемость содержит информацию о структуре материала, в том числе о качестве его изготовления. Измерение и анализ диэлектрической проницаемости могут служить методом как научного исследования, так и диагностики материалов. С целью обработки диэлектрометрических измерений в реальном масштабе времени предложен оригинальный метод для вычисления действительной и мнимой частей диэлектрической проницаемости, который может быть реализован в компактном вы- числительном устройстве, например, включенном в систему управления технологическим процессом. Указанный метод основан на применении квадратурных формул для расчета интеграла. Действительная и мнимая части диэлектрической проницаемости вычисляются для значений частоты, расположенных в геометрической прогрессии. Оптические свойства материала непосредственно связаны с диэлектрической проницаемостью. На основании этой связи создана математическая модель для получения показателей поглощения и преломления тонких пленок на прозрачной подложк