Язык оригиналарусский
Номер патента202920
МПК (Международная патентная классификация, IPC)C23C 14/22 (2006.01),C23C 14/12 (2006.01)
Дата приоритета16/11/20
Дата подачи заявки16/11/20
СостояниеОпубликовано - 15 мар 2021

ID: 74986644