Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
Электрически активные центры в кремнии, имплантированном ионами кислорода. / Лошаченко, А.С.; Вывенко, О.Ф.; Шек, Е.И.; Соболев, Н.А.
в: ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, Том 47, № 2, 2013, стр. 251-254.Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
}
TY - JOUR
T1 - Электрически активные центры в кремнии, имплантированном ионами кислорода.
AU - Лошаченко, А.С.
AU - Вывенко, О.Ф.
AU - Шек, Е.И.
AU - Соболев, Н.А.
PY - 2013
Y1 - 2013
M3 - статья
VL - 47
SP - 251
EP - 254
JO - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
JF - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
SN - 0015-3222
IS - 2
ER -
ID: 5692303