Standard

Электрически активные центры в кремнии, имплантированном ионами кислорода. / Лошаченко, А.С.; Вывенко, О.Ф.; Шек, Е.И.; Соболев, Н.А.

In: ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, Vol. 47, No. 2, 2013, p. 251-254.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Лошаченко, АС, Вывенко, ОФ, Шек, ЕИ & Соболев, НА 2013, 'Электрически активные центры в кремнии, имплантированном ионами кислорода.', ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, vol. 47, no. 2, pp. 251-254.

APA

Лошаченко, А. С., Вывенко, О. Ф., Шек, Е. И., & Соболев, Н. А. (2013). Электрически активные центры в кремнии, имплантированном ионами кислорода. ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, 47(2), 251-254.

Vancouver

Лошаченко АС, Вывенко ОФ, Шек ЕИ, Соболев НА. Электрически активные центры в кремнии, имплантированном ионами кислорода. ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ. 2013;47(2):251-254.

Author

Лошаченко, А.С. ; Вывенко, О.Ф. ; Шек, Е.И. ; Соболев, Н.А. / Электрически активные центры в кремнии, имплантированном ионами кислорода. In: ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ. 2013 ; Vol. 47, No. 2. pp. 251-254.

BibTeX

@article{382ef1886e904a8e834a730837565105,
title = "Электрически активные центры в кремнии, имплантированном ионами кислорода.",
author = "А.С. Лошаченко and О.Ф. Вывенко and Е.И. Шек and Н.А. Соболев",
year = "2013",
language = "русский",
volume = "47",
pages = "251--254",
journal = "ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ",
issn = "0015-3222",
publisher = "Издательство {"}Наука{"}",
number = "2",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Электрически активные центры в кремнии, имплантированном ионами кислорода.

AU - Лошаченко, А.С.

AU - Вывенко, О.Ф.

AU - Шек, Е.И.

AU - Соболев, Н.А.

PY - 2013

Y1 - 2013

M3 - статья

VL - 47

SP - 251

EP - 254

JO - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

JF - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

SN - 0015-3222

IS - 2

ER -

ID: 5692303