1. 2017
  2. Effect of deposition technique on chemical bonding and amount of porogen residues in organosilicate glass

    Konashuk, A., Filatova, E., Sakhonenkov, S. & Afanas'ev, V., 25 июн 2017, в: Microelectronic Engineering. 178, стр. 209-212 4 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  3. Effect of deposition technique on chemical bonding and amount of porogen residuals in organosilicate glasses: NEXAFS study

    Konashuk, A., Filatova, E., Sakhonenkov, S. & Afanas'ev, V. V., 2017, в: Microelectronic Engineering. Special Issue

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхтезисыРецензирование

  4. Physics and chemistry of interface barrier formation at the metal/insulator (transition metal-based oxides) interface

    Филатова, Е. О., Конашук, А. С. & Сахоненков, С. С., 2017.

    Результаты исследований: Материалы конференцийтезисыРецензирование

  5. Re-distribution of oxygen at the interface between γ-Al2O3 and TiN

    Filatova, E. O., Konashuk, A. S., Sakhonenkov, S. S., Sokolov, A. A. & Afanas'ev, V. V., 2017, в: Scientific Reports. 7, 1, 4541.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  6. Физические механизмы формирования энергетического барьера на межфазовых границах в системах ALD-HfO2TiN/Si и TiN/ALD-γ-Al2O3/Si

    Сахоненков, С. С., Конашук, А. С. & Филатова, Е. О., 2017, Синхротронные и нейтронные исследования» (СИН-нано-2017): Сборник аннотаций. М.: Российский научный центр "Курчатовский институт"

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийтезисы в сборнике материалов конференцииРецензирование

  7. 2016
  8. X-ray spectroscopy applied to structure and dynamics of interfaces in transition-oxide-based stacks studies

    Filatova, E. O., Konashuk, A. S. & Sahonenkov, S. S., 2016, 39th International conference on Vacuum Ultraviolet and X-ray Physics: Book of Abstacts. стр. 151-152

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийтезисы в сборнике материалов конференцииРецензирование

Назад 1...4 5 6 7 8 Далее

ID: 13953309