Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Формирование биосовместимых SiC-нанотрубок "сверху-вниз". / Буравлев, Алексей Дмитриевич; Казакин, Алексей Николаевич; Нащекин, А.В.; Убыйвовк, Евгений Викторович; Астраханцева, В.А.; Осипов, Андрей Викторович; Святец, Г. В.; Кукушкин, Сергей Арсеньевич.
In: ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, Vol. 57, No. 5, 2023, p. 343-347.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
}
TY - JOUR
T1 - Формирование биосовместимых SiC-нанотрубок "сверху-вниз"
AU - Буравлев, Алексей Дмитриевич
AU - Казакин, Алексей Николаевич
AU - Нащекин, А.В.
AU - Убыйвовк, Евгений Викторович
AU - Астраханцева, В.А.
AU - Осипов, Андрей Викторович
AU - Святец, Г. В.
AU - Кукушкин, Сергей Арсеньевич
PY - 2023
Y1 - 2023
N2 - При проведении экспериментов по синтезу слоев карбида кремния на монокристаллических подложках кремния с помощью метода согласованного замещения атомов обнаружено, что образование тонких пленок карбида кремния может сопровождаться формированием массивов нанотрубок карбида кремния произрастающих в глубь кремниевых подложек. Таким образом, впервые обнаружен новый механизм образования карбид-кремниевых нанотрубок ---"сверху-вниз". Ключевые слова: карбид кремния, нанотрубки, пар-жидкость-кристалл, формирование наноструктур.
AB - При проведении экспериментов по синтезу слоев карбида кремния на монокристаллических подложках кремния с помощью метода согласованного замещения атомов обнаружено, что образование тонких пленок карбида кремния может сопровождаться формированием массивов нанотрубок карбида кремния произрастающих в глубь кремниевых подложек. Таким образом, впервые обнаружен новый механизм образования карбид-кремниевых нанотрубок ---"сверху-вниз". Ключевые слова: карбид кремния, нанотрубки, пар-жидкость-кристалл, формирование наноструктур.
UR - https://www.mendeley.com/catalogue/ae8c7f03-ccdc-33cb-ac3e-dda1e9fd8d25/
U2 - 10.21883/ftp.2023.05.56201.28k
DO - 10.21883/ftp.2023.05.56201.28k
M3 - статья
VL - 57
SP - 343
EP - 347
JO - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
JF - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
SN - 0015-3222
IS - 5
ER -
ID: 110750317