Представлены результаты исследования образцов InGaO3(ZnO)X (X=4, 5), полученных методом горения нитратно-гликолевого геля. Изучено влияние термической обработки в интервале 300 – 1100 °С на фазовый состав и морфологию поверхности. Установлено, что в процессе синтеза могут быть получены агломераты наночастиц, которые являются твердыми растворами оксидов Ga и In в ZnО со структурой вюрцита. Термическая обработка синтезированных образцов приводит к спеканию наночастиц и образованию макрочастиц размером около 1 мкм.