Оптические свойства слоев Al-H на кремниевых подложках

Standard

Оптические свойства слоев Al-H на кремниевых подложках. / Барабан, Александр Петрович; Войт, Алексей Петрович; Габис, Игорь Евгеньевич ; Дмитриев, Валентин Александрович; Кузнецов, Владимир Георгиевич.

In: ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА, Vol. 68, No. 4, 2026, p. 616-620.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

BibTeX

@article{a9584b310e2345439d6b2a3ff249ffc2,

title = "Оптические свойства слоев Al-H на кремниевых подложках",

author = "Барабан, {Александр Петрович} and Войт, {Алексей Петрович} and Габис, {Игорь Евгеньевич} and Дмитриев, {Валентин Александрович} and Кузнецов, {Владимир Георгиевич}",

year = "2026",

doi = "10.61011/FTT.2026.04.63325.8984",

language = "русский",

volume = "68",

pages = "616--620",

journal = "ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА",

issn = "0367-3294",

publisher = "Издательство {"}Наука{"}",

number = "4",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Оптические свойства слоев Al-H на кремниевых подложках

AU - Барабан, Александр Петрович

AU - Войт, Алексей Петрович

AU - Габис, Игорь Евгеньевич

AU - Дмитриев, Валентин Александрович

AU - Кузнецов, Владимир Георгиевич

PY - 2026

Y1 - 2026

U2 - 10.61011/FTT.2026.04.63325.8984

DO - 10.61011/FTT.2026.04.63325.8984

M3 - статья

VL - 68

SP - 616

EP - 620

JO - ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА

JF - ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА

SN - 0367-3294

IS - 4

ER -

ID: 156302966