Standard
Электрофизические свойства многослойной структуры SiC−Si. / Божевольнов, В.Б.; Яфясов, А.М.; Миайловский, В.Ю.; Егорова, Ю.В.; Соколов, А.А.; Филатова, Е.О.
In:
ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, Vol. 48, No. 6, 2014, p. 814 - 817.
Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Harvard
Божевольнов, ВБ
, Яфясов, АМ, Миайловский, ВЮ, Егорова, ЮВ, Соколов, АА
& Филатова, ЕО 2014, '
Электрофизические свойства многослойной структуры SiC−Si',
ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, vol. 48, no. 6, pp. 814 - 817.
APA
Божевольнов, В. Б.
, Яфясов, А. М., Миайловский, В. Ю., Егорова, Ю. В., Соколов, А. А.
, & Филатова, Е. О. (2014).
Электрофизические свойства многослойной структуры SiC−Si.
ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ,
48(6), 814 - 817.
Vancouver
Author
BibTeX
@article{2e337c70fd6f49bfa2f1289e8db28c1e,
title = "Электрофизические свойства многослойной структуры SiC−Si",
author = "В.Б. Божевольнов and А.М. Яфясов and В.Ю. Миайловский and Ю.В. Егорова and А.А. Соколов and Е.О. Филатова",
year = "2014",
language = "русский",
volume = "48",
pages = "814 -- 817",
journal = "ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ",
issn = "0015-3222",
publisher = "Издательство {"}Наука{"}",
number = "6",
}
RIS
TY - JOUR
T1 - Электрофизические свойства многослойной структуры SiC−Si
AU - Божевольнов, В.Б.
AU - Яфясов, А.М.
AU - Миайловский, В.Ю.
AU - Егорова, Ю.В.
AU - Соколов, А.А.
AU - Филатова, Е.О.
PY - 2014
Y1 - 2014
M3 - статья
VL - 48
SP - 814
EP - 817
JO - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
JF - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
SN - 0015-3222
IS - 6
ER -