Полярные оптические фононы в сверхрешетках Si/SiO

Standard

Полярные оптические фононы в сверхрешетках Si/SiO_2. / Смирнов, Михаил Борисович ; Григорьева, Наталья Романовна; Панькин, Дмитрий Васильевич; Рогинский, Евгений Михайлович; Савин, Александр Владимирович.

In: ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, Vol. 58, No. 1, 09.04.2024, p. 21-27.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Author

Смирнов, Михаил Борисович ; Григорьева, Наталья Романовна ; Панькин, Дмитрий Васильевич ; Рогинский, Евгений Михайлович ; Савин, Александр Владимирович. / Полярные оптические фононы в сверхрешетках Si/SiO_2. In: ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ. 2024 ; Vol. 58, No. 1. pp. 21-27.

BibTeX

@article{0b33d66cf4ce4fc4a6862fb2abc9b14f,

title = "Полярные оптические фононы в сверхрешетках Si/SiO_2",

abstract = "Изучены диэлектрические свойства планарных гетероструктур Si/SiO2, играющих важную роль в современной электронике. С применением модели диэлектрического континуума исследованы спектры полярных оптических фононов в бинарных сверхрешетках Si/SiO_2. В качестве структурной модели оксидного слоя рассмотрены решетки кварца и кристобалита. Получены зависимости частот полярных оптических фононов и значения элементов тензора высокочастотной диэлектрической проницаемости от отношения толщин слоев. Полученные результаты открывают возможность использования спектроскопических данных для характеризации структуры сверхрешеток. ",

keywords = ": оксид-полупроводниковые гетероструктуры, сверхрешетки, компьютерное моделирование, модель диэлектрического континуума, колебательные спектры",

author = "Смирнов, {Михаил Борисович} and Григорьева, {Наталья Романовна} and Панькин, {Дмитрий Васильевич} and Рогинский, {Евгений Михайлович} and Савин, {Александр Владимирович}",

year = "2024",

month = apr,

day = "9",

doi = "10.61011/FTP.2024.01.57631.5900",

language = "русский",

volume = "58",

pages = "21--27",

journal = "ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ",

issn = "0015-3222",

publisher = "Издательство {"}Наука{"}",

number = "1",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Полярные оптические фононы в сверхрешетках Si/SiO_2

AU - Смирнов, Михаил Борисович

AU - Григорьева, Наталья Романовна

AU - Панькин, Дмитрий Васильевич

AU - Рогинский, Евгений Михайлович

AU - Савин, Александр Владимирович

PY - 2024/4/9

Y1 - 2024/4/9

N2 - Изучены диэлектрические свойства планарных гетероструктур Si/SiO2, играющих важную роль в современной электронике. С применением модели диэлектрического континуума исследованы спектры полярных оптических фононов в бинарных сверхрешетках Si/SiO_2. В качестве структурной модели оксидного слоя рассмотрены решетки кварца и кристобалита. Получены зависимости частот полярных оптических фононов и значения элементов тензора высокочастотной диэлектрической проницаемости от отношения толщин слоев. Полученные результаты открывают возможность использования спектроскопических данных для характеризации структуры сверхрешеток.

AB - Изучены диэлектрические свойства планарных гетероструктур Si/SiO2, играющих важную роль в современной электронике. С применением модели диэлектрического континуума исследованы спектры полярных оптических фононов в бинарных сверхрешетках Si/SiO_2. В качестве структурной модели оксидного слоя рассмотрены решетки кварца и кристобалита. Получены зависимости частот полярных оптических фононов и значения элементов тензора высокочастотной диэлектрической проницаемости от отношения толщин слоев. Полученные результаты открывают возможность использования спектроскопических данных для характеризации структуры сверхрешеток.

KW - : оксид-полупроводниковые гетероструктуры, сверхрешетки, компьютерное моделирование, модель диэлектрического континуума, колебательные спектры

UR - https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/57631

U2 - 10.61011/FTP.2024.01.57631.5900

DO - 10.61011/FTP.2024.01.57631.5900

M3 - статья

VL - 58

SP - 21

EP - 27

JO - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

JF - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

SN - 0015-3222

IS - 1

ER -

ID: 118439450