Standard

Исследование стабильности структуры пористого кремния, полученного травлением Si(100) в водном растворе фторида аммония, спектроскопическими методами. / Филатова, Е.О.; Лысенков, К.М.; Соколов, А.А.; Овчинников, А.А.; Марченко, Д.Е.; Кашкаров, В.М.; Назариков, И.В.

In: ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ", Vol. 36, No. 3, 2010, p. 53 - 59.

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Harvard

Филатова, ЕО, Лысенков, КМ, Соколов, АА, Овчинников, АА, Марченко, ДЕ, Кашкаров, ВМ & Назариков, ИВ 2010, 'Исследование стабильности структуры пористого кремния, полученного травлением Si(100) в водном растворе фторида аммония, спектроскопическими методами', ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ", vol. 36, no. 3, pp. 53 - 59.

APA

Филатова, Е. О., Лысенков, К. М., Соколов, А. А., Овчинников, А. А., Марченко, Д. Е., Кашкаров, В. М., & Назариков, И. В. (2010). Исследование стабильности структуры пористого кремния, полученного травлением Si(100) в водном растворе фторида аммония, спектроскопическими методами. ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ", 36(3), 53 - 59.

Vancouver

Филатова ЕО, Лысенков КМ, Соколов АА, Овчинников АА, Марченко ДЕ, Кашкаров ВМ et al. Исследование стабильности структуры пористого кремния, полученного травлением Si(100) в водном растворе фторида аммония, спектроскопическими методами. ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ". 2010;36(3):53 - 59.

Author

Филатова, Е.О. ; Лысенков, К.М. ; Соколов, А.А. ; Овчинников, А.А. ; Марченко, Д.Е. ; Кашкаров, В.М. ; Назариков, И.В. / Исследование стабильности структуры пористого кремния, полученного травлением Si(100) в водном растворе фторида аммония, спектроскопическими методами. In: ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ". 2010 ; Vol. 36, No. 3. pp. 53 - 59.

BibTeX

@article{c61bfe010c2b4e148eb01530634691e4,
title = "Исследование стабильности структуры пористого кремния, полученного травлением Si(100) в водном растворе фторида аммония, спектроскопическими методами",
author = "Е.О. Филатова and К.М. Лысенков and А.А. Соколов and А.А. Овчинников and Д.Е. Марченко and В.М. Кашкаров and И.В. Назариков",
year = "2010",
language = "русский",
volume = "36",
pages = "53 -- 59",
journal = "ПИСЬМА В {"}ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ{"}",
issn = "0320-0116",
publisher = "ФТИ им.Иоффе",
number = "3",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Исследование стабильности структуры пористого кремния, полученного травлением Si(100) в водном растворе фторида аммония, спектроскопическими методами

AU - Филатова, Е.О.

AU - Лысенков, К.М.

AU - Соколов, А.А.

AU - Овчинников, А.А.

AU - Марченко, Д.Е.

AU - Кашкаров, В.М.

AU - Назариков, И.В.

PY - 2010

Y1 - 2010

M3 - статья

VL - 36

SP - 53

EP - 59

JO - ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ"

JF - ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ"

SN - 0320-0116

IS - 3

ER -

ID: 5191758