Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference abstracts › Research › peer-review
Влияние материала барьерного слоя и температуры отжига на процесс формирования межслоевых областей в многослойных структурах Cr/Ti. / Каратаев, Андрей Владимирович; Филатова, Елена Олеговна; Гайсин, Айдар Уралович.
Нанофизика и наноэлектроника.: Труды XXVIII Международного симпозиума (Нижний Новгород, 11–15 марта 2024 г.).. Vol. 1 Институт прикладной физики РАН, 2024. p. 478-479.Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference abstracts › Research › peer-review
}
TY - CHAP
T1 - Влияние материала барьерного слоя и температуры отжига на процесс формирования межслоевых областей в многослойных структурах Cr/Ti
AU - Каратаев, Андрей Владимирович
AU - Филатова, Елена Олеговна
AU - Гайсин, Айдар Уралович
N1 - Conference code: XXVIII
PY - 2024
Y1 - 2024
UR - https://nanosymp.ru/ru/file/176/2ca5f82c/2024_v1.pdf
M3 - тезисы в сборнике материалов конференции
SN - 978-5-8048-0123-7
VL - 1
SP - 478
EP - 479
BT - Нанофизика и наноэлектроника.
PB - Институт прикладной физики РАН
T2 - XXVIII Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника»
Y2 - 11 March 2024 through 15 March 2024
ER -
ID: 117800090