Формирование распределения примесных атомов по глубине с учетом движения границы образца в условиях одновременной эрозии и конденсации атомов на поверхности.

Standard

Формирование распределения примесных атомов по глубине с учетом движения границы образца в условиях одновременной эрозии и конденсации атомов на поверхности. / Сухомлинов, В.С.; Першин, М.Р.

In: ВЕСТНИК САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 4: ФИЗИКА, ХИМИЯ, Vol. 1, No. 3, 2014, p. 357-370.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

BibTeX

@article{3647be047b1e472f95d64c56c7121ab5,

title = "Формирование распределения примесных атомов по глубине с учетом движения границы образца в условиях одновременной эрозии и конденсации атомов на поверхности.",

author = "В.С. Сухомлинов and М.Р. Першин",

year = "2014",

language = "не определен",

volume = "1",

pages = "357--370",

journal = "ВЕСТНИК САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. ФИЗИКА И ХИМИЯ",

issn = "1024-8579",

publisher = "Издательство Санкт-Петербургского университета",

number = "3",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Формирование распределения примесных атомов по глубине с учетом движения границы образца в условиях одновременной эрозии и конденсации атомов на поверхности.

AU - Сухомлинов, В.С.

AU - Першин, М.Р.

PY - 2014

Y1 - 2014

M3 - статья

VL - 1

SP - 357

EP - 370

JO - ВЕСТНИК САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. ФИЗИКА И ХИМИЯ

JF - ВЕСТНИК САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. ФИЗИКА И ХИМИЯ

SN - 1024-8579

IS - 3

ER -

ID: 5751631