МОДЕЛЬНЫЙ ПОДХОД К РЕШЕНИЮ ОБРАТНОЙ ЗАДАЧИ РЕФЛЕКТОМЕТРИИ И ЕГО ПРИМЕНЕНИЕ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ВНУТРЕННЕЙ СТРУКТУРЫ ПЛЕНОК ОКСИДА ГАФНИЯ › SPbU Researchers Portal

МОДЕЛЬНЫЙ ПОДХОД К РЕШЕНИЮ ОБРАТНОЙ ЗАДАЧИ РЕФЛЕКТОМЕТРИИ И ЕГО ПРИМЕНЕНИЕ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ВНУТРЕННЕЙ СТРУКТУРЫ ПЛЕНОК ОКСИДА ГАФНИЯ

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Department of Solid State Electronics

Ю. О. Волков
И. В. Кожевников
Б. С. Рощин
Е. О. Филатова
В. Е. Асадчиков

Original language	Russian
Pages (from-to)	146–154
Journal	КРИСТАЛЛОГРАФИЯ
Volume	58
Issue number	1
State	Published - 2013

ID: 5667862