Standard
Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов. / Маслова, Надежда Артемовна; Данилов, Денис Васильевич; Вывенко, Олег Федорович; Скуратов, В. А.; Володин, В. А.; Калядин, Антон Евгеньевич; Соболев, Н. А.
2025. 352-354 Abstract from Международная конференция ФизикА.СПб, Санкт-Петербург, Russian Federation.
Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review
Harvard
Маслова, НА, Данилов, ДВ
, Вывенко, ОФ, Скуратов, ВА, Володин, ВА, Калядин, АЕ & Соболев, НА 2025, '
Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов', Международная конференция ФизикА.СПб, Санкт-Петербург, Russian Federation,
20/10/25 -
24/10/25 pp. 352-354.
APA
Маслова, Н. А., Данилов, Д. В.
, Вывенко, О. Ф., Скуратов, В. А., Володин, В. А., Калядин, А. Е., & Соболев, Н. А. (2025).
Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов. 352-354. Abstract from Международная конференция ФизикА.СПб, Санкт-Петербург, Russian Federation.
Vancouver
Author
Маслова, Надежда Артемовна ; Данилов, Денис Васильевич
; Вывенко, Олег Федорович ; Скуратов, В. А. ; Володин, В. А. ; Калядин, Антон Евгеньевич ; Соболев, Н. А. /
Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов. Abstract from Международная конференция ФизикА.СПб, Санкт-Петербург, Russian Federation.
BibTeX
@conference{320a9004775847d4a950e0e1264f9833,
title = "Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов",
author = "Маслова, {Надежда Артемовна} and Данилов, {Денис Васильевич} and Вывенко, {Олег Федорович} and Скуратов, {В. А.} and Володин, {В. А.} and Калядин, {Антон Евгеньевич} and Соболев, {Н. А.}",
year = "2025",
language = "русский",
pages = "352--354",
note = "null ; Conference date: 20-10-2025 Through 24-10-2025",
}
RIS
TY - CONF
T1 - Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов
AU - Маслова, Надежда Артемовна
AU - Данилов, Денис Васильевич
AU - Вывенко, Олег Федорович
AU - Скуратов, В. А.
AU - Володин, В. А.
AU - Калядин, Антон Евгеньевич
AU - Соболев, Н. А.
PY - 2025
Y1 - 2025
M3 - тезисы
SP - 352
EP - 354
Y2 - 20 October 2025 through 24 October 2025
ER -