Standard

Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов. / Маслова, Надежда Артемовна; Данилов, Денис Васильевич; Вывенко, Олег Федорович; Скуратов, В. А.; Володин, В. А.; Калядин, Антон Евгеньевич; Соболев, Н. А.

2025. 352-354 Abstract from Международная конференция ФизикА.СПб, Санкт-Петербург, Russian Federation.

Research output: Contribution to conferenceAbstractpeer-review

Harvard

Маслова, НА, Данилов, ДВ, Вывенко, ОФ, Скуратов, ВА, Володин, ВА, Калядин, АЕ & Соболев, НА 2025, 'Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов', Международная конференция ФизикА.СПб, Санкт-Петербург, Russian Federation, 20/10/25 - 24/10/25 pp. 352-354.

APA

Маслова, Н. А., Данилов, Д. В., Вывенко, О. Ф., Скуратов, В. А., Володин, В. А., Калядин, А. Е., & Соболев, Н. А. (2025). Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов. 352-354. Abstract from Международная конференция ФизикА.СПб, Санкт-Петербург, Russian Federation.

Vancouver

Маслова НА, Данилов ДВ, Вывенко ОФ, Скуратов ВА, Володин ВА, Калядин АЕ et al. Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов. 2025. Abstract from Международная конференция ФизикА.СПб, Санкт-Петербург, Russian Federation.

Author

Маслова, Надежда Артемовна ; Данилов, Денис Васильевич ; Вывенко, Олег Федорович ; Скуратов, В. А. ; Володин, В. А. ; Калядин, Антон Евгеньевич ; Соболев, Н. А. / Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов. Abstract from Международная конференция ФизикА.СПб, Санкт-Петербург, Russian Federation.

BibTeX

@conference{320a9004775847d4a950e0e1264f9833,
title = "Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов",
author = "Маслова, {Надежда Артемовна} and Данилов, {Денис Васильевич} and Вывенко, {Олег Федорович} and Скуратов, {В. А.} and Володин, {В. А.} and Калядин, {Антон Евгеньевич} and Соболев, {Н. А.}",
year = "2025",
language = "русский",
pages = "352--354",
note = "null ; Conference date: 20-10-2025 Through 24-10-2025",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов

AU - Маслова, Надежда Артемовна

AU - Данилов, Денис Васильевич

AU - Вывенко, Олег Федорович

AU - Скуратов, В. А.

AU - Володин, В. А.

AU - Калядин, Антон Евгеньевич

AU - Соболев, Н. А.

PY - 2025

Y1 - 2025

M3 - тезисы

SP - 352

EP - 354

Y2 - 20 October 2025 through 24 October 2025

ER -

ID: 143111366