Направление диффузионного потока галлия при осаждении на поверхность с регулярными массивами отверстий

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Original language	Russian
Pages (from-to)	27-30
Journal	ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ"
Volume	47
Issue number	12
DOIs	https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.12.51063.18765
State	Published - 2021

ID: 89174478