Standard

Синтез молекулярным наслаиванием и исследование наноструктурированных оксидных слоев в высокоаспектных подложках. / Барабан, Александр Петрович; Дмитриев, Валентин Александрович; Дрозд, Арсений Викторович; Мошников, Вячеслав.

In: Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника, Vol. 27, No. 4, 28.09.2024, p. 61-71.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Барабан, АП, Дмитриев, ВА, Дрозд, АВ & Мошников, В 2024, 'Синтез молекулярным наслаиванием и исследование наноструктурированных оксидных слоев в высокоаспектных подложках.', Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника, vol. 27, no. 4, pp. 61-71. https://doi.org/10.32603/1993-8985-2024-27-4-61-71

APA

Барабан, А. П., Дмитриев, В. А., Дрозд, А. В., & Мошников, В. (2024). Синтез молекулярным наслаиванием и исследование наноструктурированных оксидных слоев в высокоаспектных подложках. Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника, 27(4), 61-71. https://doi.org/10.32603/1993-8985-2024-27-4-61-71

Vancouver

Барабан АП, Дмитриев ВА, Дрозд АВ, Мошников В. Синтез молекулярным наслаиванием и исследование наноструктурированных оксидных слоев в высокоаспектных подложках. Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. 2024 Sep 28;27(4):61-71. https://doi.org/10.32603/1993-8985-2024-27-4-61-71

Author

Барабан, Александр Петрович ; Дмитриев, Валентин Александрович ; Дрозд, Арсений Викторович ; Мошников, Вячеслав. / Синтез молекулярным наслаиванием и исследование наноструктурированных оксидных слоев в высокоаспектных подложках. In: Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. 2024 ; Vol. 27, No. 4. pp. 61-71.

BibTeX

@article{acd38957607545a29b24f108e6cf6873,
title = "Синтез молекулярным наслаиванием и исследование наноструктурированных оксидных слоев в высокоаспектных подложках.",
author = "Барабан, {Александр Петрович} and Дмитриев, {Валентин Александрович} and Дрозд, {Арсений Викторович} and Вячеслав Мошников",
year = "2024",
month = sep,
day = "28",
doi = "10.32603/1993-8985-2024-27-4-61-71",
language = "русский",
volume = "27",
pages = "61--71",
journal = "Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника",
issn = "1993-8985",
publisher = "Издательство СПбГЭТУ {"}ЛЭТИ{"}",
number = "4",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Синтез молекулярным наслаиванием и исследование наноструктурированных оксидных слоев в высокоаспектных подложках.

AU - Барабан, Александр Петрович

AU - Дмитриев, Валентин Александрович

AU - Дрозд, Арсений Викторович

AU - Мошников, Вячеслав

PY - 2024/9/28

Y1 - 2024/9/28

U2 - 10.32603/1993-8985-2024-27-4-61-71

DO - 10.32603/1993-8985-2024-27-4-61-71

M3 - статья

VL - 27

SP - 61

EP - 71

JO - Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника

JF - Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника

SN - 1993-8985

IS - 4

ER -

ID: 125310802