Standard

Применение нанокерамики на основе диоксида циркония для изготовления мишеней магнетронного напыления. / Конаков, В.Г.; Овидько, И.А.; Курапова, О.Ю.; Новик, Н.Н.; Арчаков, И.Ю.

In: Materials Physics and Mechanics, Vol. 21, No. 3, 2014, p. 305-310.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Конаков, ВГ, Овидько, ИА, Курапова, ОЮ, Новик, НН & Арчаков, ИЮ 2014, 'Применение нанокерамики на основе диоксида циркония для изготовления мишеней магнетронного напыления', Materials Physics and Mechanics, vol. 21, no. 3, pp. 305-310. <http://www.ipme.ru/e-journals/MPM/no_32114/MPM321_12_konakov.pdf>

APA

Конаков, В. Г., Овидько, И. А., Курапова, О. Ю., Новик, Н. Н., & Арчаков, И. Ю. (2014). Применение нанокерамики на основе диоксида циркония для изготовления мишеней магнетронного напыления. Materials Physics and Mechanics, 21(3), 305-310. http://www.ipme.ru/e-journals/MPM/no_32114/MPM321_12_konakov.pdf

Vancouver

Конаков ВГ, Овидько ИА, Курапова ОЮ, Новик НН, Арчаков ИЮ. Применение нанокерамики на основе диоксида циркония для изготовления мишеней магнетронного напыления. Materials Physics and Mechanics. 2014;21(3):305-310.

Author

Конаков, В.Г. ; Овидько, И.А. ; Курапова, О.Ю. ; Новик, Н.Н. ; Арчаков, И.Ю. / Применение нанокерамики на основе диоксида циркония для изготовления мишеней магнетронного напыления. In: Materials Physics and Mechanics. 2014 ; Vol. 21, No. 3. pp. 305-310.

BibTeX

@article{1eeea12b350247ae8d1628afdbabbf03,
title = "Применение нанокерамики на основе диоксида циркония для изготовления мишеней магнетронного напыления",
author = "В.Г. Конаков and И.А. Овидько and О.Ю. Курапова and Н.Н. Новик and И.Ю. Арчаков",
year = "2014",
language = "русский",
volume = "21",
pages = "305--310",
journal = "ФИЗИКА И МЕХАНИКА МАТЕРИАЛОВ",
issn = "1605-8119",
publisher = "Институт проблем машиноведения РАН",
number = "3",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Применение нанокерамики на основе диоксида циркония для изготовления мишеней магнетронного напыления

AU - Конаков, В.Г.

AU - Овидько, И.А.

AU - Курапова, О.Ю.

AU - Новик, Н.Н.

AU - Арчаков, И.Ю.

PY - 2014

Y1 - 2014

M3 - статья

VL - 21

SP - 305

EP - 310

JO - ФИЗИКА И МЕХАНИКА МАТЕРИАЛОВ

JF - ФИЗИКА И МЕХАНИКА МАТЕРИАЛОВ

SN - 1605-8119

IS - 3

ER -

ID: 5759306