Standard

Получение карбонитридных пленок на стадиях тлеющего разряда и его послесвечения. / Григорьян, Г.М.; Кочетов, И.В.

In: ФИЗИКА ПЛАЗМЫ, Vol. 39, No. 5, 2013, p. 475-482.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Григорьян, ГМ & Кочетов, ИВ 2013, 'Получение карбонитридных пленок на стадиях тлеющего разряда и его послесвечения', ФИЗИКА ПЛАЗМЫ, vol. 39, no. 5, pp. 475-482.

APA

Григорьян, Г. М., & Кочетов, И. В. (2013). Получение карбонитридных пленок на стадиях тлеющего разряда и его послесвечения. ФИЗИКА ПЛАЗМЫ, 39(5), 475-482.

Vancouver

Григорьян ГМ, Кочетов ИВ. Получение карбонитридных пленок на стадиях тлеющего разряда и его послесвечения. ФИЗИКА ПЛАЗМЫ. 2013;39(5):475-482.

Author

Григорьян, Г.М. ; Кочетов, И.В. / Получение карбонитридных пленок на стадиях тлеющего разряда и его послесвечения. In: ФИЗИКА ПЛАЗМЫ. 2013 ; Vol. 39, No. 5. pp. 475-482.

BibTeX

@article{536d71053087426895a9d687764e030c,
title = "Получение карбонитридных пленок на стадиях тлеющего разряда и его послесвечения",
author = "Г.М. Григорьян and И.В. Кочетов",
year = "2013",
language = "не определен",
volume = "39",
pages = "475--482",
journal = "ФИЗИКА ПЛАЗМЫ",
issn = "0367-2921",
publisher = "Издательство {"}Наука{"}",
number = "5",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Получение карбонитридных пленок на стадиях тлеющего разряда и его послесвечения

AU - Григорьян, Г.М.

AU - Кочетов, И.В.

PY - 2013

Y1 - 2013

M3 - статья

VL - 39

SP - 475

EP - 482

JO - ФИЗИКА ПЛАЗМЫ

JF - ФИЗИКА ПЛАЗМЫ

SN - 0367-2921

IS - 5

ER -

ID: 5628146