Получение карбонитридных пленок на стадиях тлеющего разряда и его послесвечения › SPbU Researchers Portal

Получение карбонитридных пленок на стадиях тлеющего разряда и его послесвечения

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Department of Optics

Г.М. Григорьян
И.В. Кочетов

Original language	Undefined
Pages (from-to)	475-482
Journal	ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
Volume	39
Issue number	5
State	Published - 2013

ID: 5628146