Устройство для получения органических тонкопленочных покрытий в вакууме

Федеральная служба по интеллектуальной собственности. Patent No.: 202920. Mar 15, 2021.

Research output: Patenting and IP registration › Patent

Жижин, Е. В., Пудиков, Д. А., & Комолов, А. С. (2021). Устройство для получения органических тонкопленочных покрытий в вакууме. (Patent No. 202920). Федеральная служба по интеллектуальной собственности.

Жижин, Евгений Владимирович (Inventor) ; Пудиков, Дмитрий Александрович (Inventor) ; Комолов, Алексей Сергеевич (Inventor). / Устройство для получения органических тонкопленочных покрытий в вакууме. Федеральная служба по интеллектуальной собственности. Patent No.: 202920. Mar 15, 2021.

@misc{96f1c73ef2844b9397802951fdb45159,

title = "Устройство для получения органических тонкопленочных покрытий в вакууме",

author = "Жижин, {Евгений Владимирович} and Пудиков, {Дмитрий Александрович} and Комолов, {Алексей Сергеевич}",

year = "2021",

month = mar,

day = "15",

language = "русский",

publisher = "Федеральная служба по интеллектуальной собственности",

address = "Российская Федерация",

type = "Patent",

note = "202920; C23C 14/22 (2006.01),C23C 14/12 (2006.01)",

}

TY - PAT

T1 - Устройство для получения органических тонкопленочных покрытий в вакууме

AU - Жижин, Евгений Владимирович

AU - Пудиков, Дмитрий Александрович

AU - Комолов, Алексей Сергеевич

PY - 2021/3/15

Y1 - 2021/3/15

UR - https://yandex.ru/patents/doc/RU202920U1_20210315

M3 - патент

M1 - 202920

Y2 - 2020/11/16

PB - Федеральная служба по интеллектуальной собственности

ER -

ID: 74986644