Изменение формы наноостровка при селективной эпитаксии

Standard

Изменение формы наноостровка при селективной эпитаксии. / Дубровский, Владимир Германович.

In: ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ", Vol. 47, No. 14, 2021, p. 43-46.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

BibTeX

@article{520e4ac83fd54f82921ee458bb142373,

title = "Изменение формы наноостровка при селективной эпитаксии",

abstract = "A model is developed for the changes in the nanoisland shape in selective area epitaxy. The model is based on the minimization of the surface energy at a given volume. The geometry considered is an island restricted by the two (101) and (112) side facets and (001) facet at the top, with the facet size changing with the island volume. The calculations are presented for the facet lengths, the corresponding aspect ratios and fractions of the surface areas of the competing facets.Предложена модель, описывающая изменение формы наноостровков, выращиваемых методом селективной эпитаксии. Модель основана на минимизации поверхностной энергии при заданном объеме. Рассмотрена морфология, в которой островок огранен боковыми фасетками (101) и (112) и фасеткой (001) на вершине, размер которых изменяется в зависимости от объема. Проведены расчеты длин, аспектных соотношений и площадей поверхности конкурирующих фасеток в зависимости от объема островка. Ключевые слова: селективная эпитаксия, форма островка, поверхностная энергия.",

author = "Дубровский, {Владимир Германович}",

year = "2021",

doi = "10.21883/PJTF.2021.14.51187.18811",

language = "русский",

volume = "47",

pages = "43--46",

journal = "ПИСЬМА В {"}ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ{"}",

issn = "0320-0116",

publisher = "ФТИ им.Иоффе",

number = "14",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Изменение формы наноостровка при селективной эпитаксии

AU - Дубровский, Владимир Германович

PY - 2021

Y1 - 2021

N2 - A model is developed for the changes in the nanoisland shape in selective area epitaxy. The model is based on the minimization of the surface energy at a given volume. The geometry considered is an island restricted by the two (101) and (112) side facets and (001) facet at the top, with the facet size changing with the island volume. The calculations are presented for the facet lengths, the corresponding aspect ratios and fractions of the surface areas of the competing facets.Предложена модель, описывающая изменение формы наноостровков, выращиваемых методом селективной эпитаксии. Модель основана на минимизации поверхностной энергии при заданном объеме. Рассмотрена морфология, в которой островок огранен боковыми фасетками (101) и (112) и фасеткой (001) на вершине, размер которых изменяется в зависимости от объема. Проведены расчеты длин, аспектных соотношений и площадей поверхности конкурирующих фасеток в зависимости от объема островка. Ключевые слова: селективная эпитаксия, форма островка, поверхностная энергия.

AB - A model is developed for the changes in the nanoisland shape in selective area epitaxy. The model is based on the minimization of the surface energy at a given volume. The geometry considered is an island restricted by the two (101) and (112) side facets and (001) facet at the top, with the facet size changing with the island volume. The calculations are presented for the facet lengths, the corresponding aspect ratios and fractions of the surface areas of the competing facets.Предложена модель, описывающая изменение формы наноостровков, выращиваемых методом селективной эпитаксии. Модель основана на минимизации поверхностной энергии при заданном объеме. Рассмотрена морфология, в которой островок огранен боковыми фасетками (101) и (112) и фасеткой (001) на вершине, размер которых изменяется в зависимости от объема. Проведены расчеты длин, аспектных соотношений и площадей поверхности конкурирующих фасеток в зависимости от объема островка. Ключевые слова: селективная эпитаксия, форма островка, поверхностная энергия.

UR - https://www.mendeley.com/catalogue/ab42cc91-8623-338d-9be3-40835d7f4b2a/

U2 - 10.21883/PJTF.2021.14.51187.18811

DO - 10.21883/PJTF.2021.14.51187.18811

M3 - статья

VL - 47

SP - 43

EP - 46

JO - ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ"

JF - ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ"

SN - 0320-0116

IS - 14

ER -

ID: 89174550