Description

Исследования будут проведены для ряда зеркал (на основе различных практически значимых пар материалов) с широким спектром применения: рентгеновская литография на различных длинах волн, рентгеновская микроскопия в окне прозрачности воды, рентгенофлуоресцентный анализ, изображающая и коллимирующая оптика для лабораторных источников и синхротронов. Особое внимание будет уделено изучению влияния материала буферного слоя на состав и протяженность межслоевой области и установлению оптимальных температур отжига, обеспечивающих наибольший пиковый коэффициент отражения. Впервые будет изучено влияние концентрации азота в МРЗ Cr/ScyNx на состав и протяженность межслоевой области и его отражающие свойства и установлена его оптимальная величина. Все МРЗ будут синтезированы в ОИ, где они также пройдут первичную характеризацию их отражательных характеристик, толщин пленок и химического состава методами вторичной времяпролетной масс-спектрометрии, просвечивающей микроскопии и рефлектометрии. В проекте впервые планируется использование рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии высоких энергий применительно к МРЗ, что обеспечит проведение неразрушающего фазового и химического послойного анализа нескольких периодов МРЗ, что позволит получить информацию о химическом составе межслоевых областей (при этом не важна их кристаллическая структура). Для характеризации структуры межслоевых областей и определения параметров шероховатости будут также применены методы NEXAFS спектроскопии и рефлектометрии. Результаты, полученные принципиально новым комплексным подходом к изучению межслоевых областей в МРЗ, включающим в себя набор комплементарных методик, позволит оптимизировать синтез широко используемых МРЗ, тем самым существенно увеличив эффективность их работы, по сравнению с предыдущими образцами, что является и по сей день одной из главных целей рентгеновской оптики - создание зеркал с коэффициентом отражения максимально близким к теоретически рассчитанным значениям.
AcronymRSF_SR_IF_2019 - 7
StatusActive
Effective start/end date1/01/2531/12/25

ID: 129226634