Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › Обзор литературы
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Страницы (с-по) | 023001_1-32 |
| Журнал | Plasma Sources Science and Technology |
| Том | 22 |
| Номер выпуска | 02 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 2013 |
ID: 7369247