Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Страницы (с-по) | 191-196 |
| Журнал | Semiconductor Science and Technology |
| Том | 8 |
| Номер выпуска | 2 |
| Состояние | Опубликовано - 1993 |
| Опубликовано для внешнего пользования | Да |
ID: 5358932