Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья
The electrically active centers in oxygen-implanted silicon. / Loshachenko, A.S.; Vyvenko, O.F.; Shek, E.I.; Sobolev, N.A.
в: Semiconductors, Том 47, № 2, 2013, стр. 285-288.Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья
}
TY - JOUR
T1 - The electrically active centers in oxygen-implanted silicon
AU - Loshachenko, A.S.
AU - Vyvenko, O.F.
AU - Shek, E.I.
AU - Sobolev, N.A.
PY - 2013
Y1 - 2013
U2 - 10.1134/S1063782613020164
DO - 10.1134/S1063782613020164
M3 - Article
VL - 47
SP - 285
EP - 288
JO - Semiconductors
JF - Semiconductors
SN - 1063-7826
IS - 2
ER -
ID: 7388796