Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › Обзор литературы
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Страницы (с-по) | 114009_1-13 |
| Журнал | Semiconductor Science and Technology |
| Том | 23 |
| Номер выпуска | 11 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 2008 |
| Опубликовано для внешнего пользования | Да |
ID: 5461994