Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции
Язык оригинала | английский |
---|---|
Название основной публикации | 2016 14th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition (BALD) |
Издатель | Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. |
Страницы | 44-46 |
ISBN (печатное издание) | 978-1-5090-3416-1 |
Состояние | Опубликовано - 2016 |
Событие | 14th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition, BALD 2016 - St. Petersburg, Российская Федерация Продолжительность: 1 окт 2016 → 3 окт 2016 |
конференция | 14th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition, BALD 2016 |
---|---|
Страна/Tерритория | Российская Федерация |
Город | St. Petersburg |
Период | 1/10/16 → 3/10/16 |
ID: 7656725