Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
NEXAFS и XPS исследования пористого кремния. / Некипелов, С. В.; Ломов, А. А.; Мингалева, Алёна Егоровна; Петрова, О. В.; Сивков, Данил Викторович; Шомысов, Н. Н.; Шустова, Е. Н.; Сивков, В. Н.
в: ИЗВЕСТИЯ КОМИ НАУЧНОГО ЦЕНТРА УРО РАН, № 3 (35), 01.01.2018, стр. 19-22.Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
}
TY - JOUR
T1 - NEXAFS и XPS исследования пористого кремния
AU - Некипелов, С. В.
AU - Ломов, А. А.
AU - Мингалева, Алёна Егоровна
AU - Петрова, О. В.
AU - Сивков, Данил Викторович
AU - Шомысов, Н. Н.
AU - Шустова, Е. Н.
AU - Сивков, В. Н.
PY - 2018/1/1
Y1 - 2018/1/1
N2 - Методами ультрамягкой рентгеновской спектроскопии с применением синхротронного излучения исследованы пористые слои кремния с различными типами проводимости. Определена эффективная толщина оксида на поверхности кремниевого скелетона и изучена структура интерфейса на границе кремний/оксид кремния. Показано, что тонкая структура спектров поглощения Si 2p кремниевого скелета совпадает с тонкой структурой спектра кристаллического кремния, а толщина оксидного слоя на поверхности пористого кремния 1,8-2,4 нм для различных образцов. Параметр x в стехиометрической формуле SiOх оксида кремния находится в диапазоне 1,66–1,82.
AB - Методами ультрамягкой рентгеновской спектроскопии с применением синхротронного излучения исследованы пористые слои кремния с различными типами проводимости. Определена эффективная толщина оксида на поверхности кремниевого скелетона и изучена структура интерфейса на границе кремний/оксид кремния. Показано, что тонкая структура спектров поглощения Si 2p кремниевого скелета совпадает с тонкой структурой спектра кристаллического кремния, а толщина оксидного слоя на поверхности пористого кремния 1,8-2,4 нм для различных образцов. Параметр x в стехиометрической формуле SiOх оксида кремния находится в диапазоне 1,66–1,82.
U2 - 10.19110/1994-5655-2018-3-19-22
DO - 10.19110/1994-5655-2018-3-19-22
M3 - статья
SP - 19
EP - 22
JO - ИЗВЕСТИЯ КОМИ НАУЧНОГО ЦЕНТРА УРО РАН
JF - ИЗВЕСТИЯ КОМИ НАУЧНОГО ЦЕНТРА УРО РАН
SN - 1994-5655
IS - 3 (35)
ER -
ID: 43105443