Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья
Model Approach to Solving the Inverse Problem of X-Ray Reflectometry and Its Application to the Study of the Internal Structure of Hafnium Oxide Films. / Volkov, Yu. O.; Kozhevnikov, I. V.; Roshchin, B. S.; Filatova, E. O.; Asadchikov, V. E.
в: Crystallography Reports, Том 58, № 1, 2013, стр. 160-167.Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья
}
TY - JOUR
T1 - Model Approach to Solving the Inverse Problem of X-Ray Reflectometry and Its Application to the Study of the Internal Structure of Hafnium Oxide Films
AU - Volkov, Yu. O.
AU - Kozhevnikov, I. V.
AU - Roshchin, B. S.
AU - Filatova, E. O.
AU - Asadchikov, V. E.
PY - 2013
Y1 - 2013
U2 - 10.1134/S1063774513010148
DO - 10.1134/S1063774513010148
M3 - Article
VL - 58
SP - 160
EP - 167
JO - Crystallography Reports
JF - Crystallography Reports
SN - 1063-7745
IS - 1
ER -
ID: 5743033