• I.V. Andronov
  • V.N. Gorobey
  • E.K. Izrailov
  • R.E. Kuvandykov
  • A.A. Lobashev
  • A.A. Chernyshenko

The paper discusses improvements for the primary vacuum-meter transducer for measuring absolute pressure in a wide range from 0.1 to 10 Pa.

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи012002
Число страниц5
ЖурналIOP Conference Series: Materials Science and Engineering
Том387
Номер выпуска1
DOI
СостояниеОпубликовано - 17 июл 2018
Событие25th International Conference on Vacuum Technique and Technology - Saint Petersburg Electrotechnical University "LETI", St. Petersburg, Российская Федерация
Продолжительность: 5 июн 20187 июн 2018
Номер конференции: 138441

    Предметные области Scopus

  • Материаловедение (все)
  • Технология (все)

ID: 42899305