Проведено исследование влияния интенсивного УФ-облучения на спектры фотолюминесценции (ФЛ) порошков и нанокристаллических пленок ZnO, полученных методом атомного наслаивания (ALD). При комнатной температуре изучено поведение спектров при непрерывном облучении УФ-светом в многократных циклах вакуум-атмосфера. Обсуждены изменения интенсивностей экситонного излучения и излучения в области "зеленой" полосы, связанные с явлениями фотодесорбции и фотоадсорбции кислорода. В температурном диапазоне 5-300 K изучено влияние сильного УФ-облучения на спектр близкраевой люминесценции пленок ZnO. Обсуждена природа новой линии, возникающей в ФЛ облученной пленки в области излучения связанных экситонов.