В работе впервые определены условия синтеза методом ионного наслаивания на поверхности кремния нанослоев поливольфрамата церия(IV). Данные слои были исследованы методами сканирующей электронной микроскопии, рентгеноспектрального микроанализа и ИК Фурье-спектроскопии пропускания. Показано, что синтезированный слой имеет глобулярное строение с размером глобул в диапазоне 30-50 нм, соотношение концентраций атомов церия и вольфрама в слое равно 0.8.