Рассматриваются вибрационные микромеханические гироскопы (ММГ) LL- и RR-типов. Учитываются нелинейные зависимости сил упругости подвесов и электростатических сил от перемещений чувствительных элементов ММГ. Получены нелинейные дифференциальные уравнения ММГ, функционирующих в режиме измерений. Эти уравнения содержат как аналитические, так и неаналитические нелинейности. Исследовано влияние указанных нелинейно-стей на динамику и точность вибрационных ММГ. С использованием приема усреднения обнаружены устойчивые стационарные режимы вибрационных ММГ. Построены соответствующие резонансные кривые. Полученные результаты могут найти применение при проектировании приборов рассмотренных типов.

Microelectromechanical vibrating gyros of LL and RR types are considered. Nonlinear dependence between the forces of elasticity in supports and the displacements of sensitive elements is taken into consideration as well as nonlinear dependence between the electrostatic forces and the displacements of sensitive elements. The no