Получен свободный от допплеровского уширения спектр насыщенного поглощения газа SiF4 в частотной области генерации CO2-лазера низкого давления. Зарегистрированы мультиплеты супертонкой структуры спектра, связанной с туннельными переходами между состояниями вращения молекулы вокруг эквивалентных осей симметрии. Зарегистрированы сателлиты мультиплетов, формирование которых объяснено двухфотонными процессами. На основе интерпретации сателлитов определено расщепление уровней энергии мультиплета супертонкой структуры. Обнаружен сателлит, формирование которого может быть объяснено четырехфотонными процессами.