Установлено формирование бериллидов с разной стехиометрией, зависящей от порядка напыления слоев (Mo-на-Be или Beна-Mo) в многослойной структуре Mo/Be. Показано, что по мере увеличения числа слоев (начиная с подложки) качество межфазовой границы Mo-на-Be остается неизменным, в то время как интерслой, образованный на границе Be-на-Mo, претерпевает существенное изменение. Предложен механизм формирования межфазовой границы: обсуждается механизм диффузии атомов бериллия на границах Mo-на-Be и Be-на-Mo (поверхностная и объемная диффузии). Рассмотрена возможность управления протяженностью и составом межслоевой области путем введения тонкого слоя B4C на межфазовой границе.