Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья
| Язык оригинала | не определен |
|---|---|
| Страницы (с-по) | 58-60 |
| Журнал | ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИЯ |
| Том | 25 |
| Номер выпуска | 2 |
| Состояние | Опубликовано - 2015 |
| Опубликовано для внешнего пользования | Да |
ID: 5792490