Standard
Комплексная диагностика многослойных систем с наноразмерными слоями на примере структур Mo/Si. / Вальковский, Г. А.; Байдакова, М. В.; Брунков, П. Н.; Конников, С. Г.; Ситникова, А. А.; Яговкина, М. А.; Задиранов, Ю. М.
в:
ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА, Том 55, № 3, 2013, стр. 591-601.
Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
Harvard
Вальковский, ГА, Байдакова, МВ, Брунков, ПН, Конников, СГ, Ситникова, АА, Яговкина, МА & Задиранов, ЮМ 2013, '
Комплексная диагностика многослойных систем с наноразмерными слоями на примере структур Mo/Si',
ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА, Том. 55, № 3, стр. 591-601.
APA
Вальковский, Г. А., Байдакова, М. В., Брунков, П. Н., Конников, С. Г., Ситникова, А. А., Яговкина, М. А., & Задиранов, Ю. М. (2013).
Комплексная диагностика многослойных систем с наноразмерными слоями на примере структур Mo/Si.
ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА,
55(3), 591-601.
Vancouver
Author
BibTeX
@article{caa49aeb78bd44728d07ab5ffc4caff9,
title = "Комплексная диагностика многослойных систем с наноразмерными слоями на примере структур Mo/Si",
author = "Вальковский, {Г. А.} and Байдакова, {М. В.} and Брунков, {П. Н.} and Конников, {С. Г.} and Ситникова, {А. А.} and Яговкина, {М. А.} and Задиранов, {Ю. М.}",
year = "2013",
language = "не определен",
volume = "55",
pages = "591--601",
journal = "ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА",
issn = "0367-3294",
publisher = "Издательство {"}Наука{"}",
number = "3",
}
RIS
TY - JOUR
T1 - Комплексная диагностика многослойных систем с наноразмерными слоями на примере структур Mo/Si
AU - Вальковский, Г. А.
AU - Байдакова, М. В.
AU - Брунков, П. Н.
AU - Конников, С. Г.
AU - Ситникова, А. А.
AU - Яговкина, М. А.
AU - Задиранов, Ю. М.
PY - 2013
Y1 - 2013
M3 - статья
VL - 55
SP - 591
EP - 601
JO - ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
JF - ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
SN - 0367-3294
IS - 3
ER -
