Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
Формирование структуры углерода с нанометровым характерным масштабом при релаксации химически активированной плазмы. / Божевольнов, Ю. В.; Божевольнов, В. Б.; Яфясов, А. М.
Аморфные и микрокристаллические полупроводники: Сборник трудов VII Международной конференции. СПб. : Издательство Санкт-Петербургского Государственного Политехнического Университета, 2010. стр. 162–163.Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
}
TY - GEN
T1 - Формирование структуры углерода с нанометровым характерным масштабом при релаксации химически активированной плазмы.
AU - Божевольнов, Ю. В.
AU - Божевольнов, В. Б.
AU - Яфясов, А. М.
PY - 2010
Y1 - 2010
UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=21993766
M3 - статья в сборнике материалов конференции
SP - 162
EP - 163
BT - Аморфные и микрокристаллические полупроводники
PB - Издательство Санкт-Петербургского Государственного Политехнического Университета
CY - СПб.
T2 - VII Международная конференция "Аморфные и микрокристаллические полупроводники"
Y2 - 28 June 2010 through 1 July 2010
ER -
ID: 42733133