Базовые элементы информационно-экспертной системы диагностики поверхности для параметрической идентификации моделей диэлектрических пленок

в: ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ, № 4, 2005, стр. С.с.70-77.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

@article{099cea25eb0b489794c8c54272080f5f,

title = "Базовые элементы информационно-экспертной системы диагностики поверхности для параметрической идентификации моделей диэлектрических пленок",

author = "Н.В. Егоров and А.Г. Карпов",

year = "2005",

language = "не определен",

pages = "С.с.70--77",

journal = "ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ",

issn = "1027-4510",

publisher = "МАИК {"}Наука/Интерпериодика{"}",

number = "4",

}

TY - JOUR

T1 - Базовые элементы информационно-экспертной системы диагностики поверхности для параметрической идентификации моделей диэлектрических пленок

AU - Егоров, Н.В.

AU - Карпов, А.Г.

PY - 2005

Y1 - 2005

M3 - статья

SP - С.с.70-77

JO - ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ

JF - ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ

SN - 1027-4510

IS - 4

ER -

ID: 5147302