Моделирование системы энергоанализа автоэмиссионных микроразмерных матричных структур на основе карбида кремния включает многомасштабное распределение электрического поля над эмиссионными центрами - отдельными атомами на поверхности эмиттера. Решение задачи, из-за сложной конфигурации вычислительной области, возможно получить только численно. В многомасштабной постановке приближенное численное решение строится по методу конечных элементов на вложенных сетках в среде COMSOL Multiphysics, причем особое внимание уделяется сопряжению решений на соседних масштабах для переноса граничных и начальных условий.