Измерены частотные уширения и сдвиги столкновениями молекул 12 резонансов насыщения поглощения газа SiF4 в частотной области генерации CO2лазера низкого давления на линии P(30) полосы 9.4 мкм. Столкновительные уширения в пределах погрешности совпадают. Столкновительный сдвиг не превышает 10% величины столкновительных уширений, что означает превалирование столкновений с изменением внутренней энергии молекул над дефазирующими столкновениями.