Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы
Возможности люминесценции при исследовании слоистых диэлектрических слоев на кремнии. / Гаджала, А.А.; Барабан, А.П.; Дмитриев, В.А.; Дрозд, В.Е.; Прокофьев, В.А.
2014. 166169 Реферат от ХIII Международная конференция «Физика диэлектриков» (Диэлектрики -2014), Санкт-Петербург, Российская Федерация.Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы
}
TY - CONF
T1 - Возможности люминесценции при исследовании слоистых диэлектрических слоев на кремнии.
AU - Гаджала, А.А.
AU - Барабан, А.П.
AU - Дмитриев, В.А.
AU - Дрозд, В.Е.
AU - Прокофьев, В.А.
PY - 2014
Y1 - 2014
M3 - тезисы
SP - 166169
Y2 - 2 June 2014 through 6 June 2014
ER -
ID: 6819728