Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
Влияние цементации никелевого катализатора на рост углеродных нанотрубок. / Филатов , Л.А.; Балашова, К.А.; Ежов, Илья; Назаров, Денис Васильевич; Марков, Лев; Максимов, Максим.
в: ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ", Том 52, № 12, 28.04.2026, стр. 7-11.Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
}
TY - JOUR
T1 - Влияние цементации никелевого катализатора на рост углеродных нанотрубок
AU - Филатов , Л.А.
AU - Балашова, К.А.
AU - Ежов, Илья
AU - Назаров, Денис Васильевич
AU - Марков, Лев
AU - Максимов, Максим
PY - 2026/4/28
Y1 - 2026/4/28
N2 - Использован метод атомно-слоевого осаждения для выращивания тонкого слоя NiO как источника катализатора для роста углеродных нанотрубок на кремниевых подложках с естественным оксидом кремния. Массивы углеродных нанотрубок были получены с использованием плазмохимического осаждения из газовой фазы. Предложена и изучена методика оптимизации катализатора с помощью процесса цементации никеля. Без предварительной цементации для образцов с исходным слоем NiO толщиной 1.4−3.7 nmсозданные массивы углеродных нанотрубок характеризовались малой длиной или низкой плотностью расположения. Проведение цементации никелевой пленки в фазе ее подготовки позволило повысить указанные характеристики массивов. Предлагаемая операция не усложняет технологический процесс и может быть осуществлена средствами установки.
AB - Использован метод атомно-слоевого осаждения для выращивания тонкого слоя NiO как источника катализатора для роста углеродных нанотрубок на кремниевых подложках с естественным оксидом кремния. Массивы углеродных нанотрубок были получены с использованием плазмохимического осаждения из газовой фазы. Предложена и изучена методика оптимизации катализатора с помощью процесса цементации никеля. Без предварительной цементации для образцов с исходным слоем NiO толщиной 1.4−3.7 nmсозданные массивы углеродных нанотрубок характеризовались малой длиной или низкой плотностью расположения. Проведение цементации никелевой пленки в фазе ее подготовки позволило повысить указанные характеристики массивов. Предлагаемая операция не усложняет технологический процесс и может быть осуществлена средствами установки.
UR - https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/62978
U2 - 10.61011/PJTF.2026.12.62978.20571
DO - 10.61011/PJTF.2026.12.62978.20571
M3 - статья
VL - 52
SP - 7
EP - 11
JO - ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ"
JF - ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ"
SN - 0320-0116
IS - 12
ER -
ID: 155684947