Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
Эффект интерфейсного легирования системы наностержней оксида цинка. / Рябко, А. А.; Мазинг, Д.С.; Бобков, А.А.; Максимов, А.И.; Левицкий, В.С.; Комолов, Алексей Сергеевич; Лазнева, Элеонора Федоровна.
в: ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА, Том 64, № 11, 2022, стр. 1681-1689.Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
}
TY - JOUR
T1 - Эффект интерфейсного легирования системы наностержней оксида цинка
AU - Рябко, А. А.
AU - Мазинг, Д.С.
AU - Бобков, А.А.
AU - Максимов, А.И.
AU - Левицкий, В.С.
AU - Комолов, Алексей Сергеевич
AU - Лазнева, Элеонора Федоровна
PY - 2022
Y1 - 2022
N2 - The effect of an increase in the electrical conductivity of a system of zinc oxide nanorods by a factor of 10^5 during atomic layer deposition of a thin dielectric layer of aluminum oxide was found. It is shown that a change in the electrical conductivity of zinc oxide during atomic layer deposition of aluminum oxide on the surface is also observed for thin polycrystalline layers of zinc oxide. A study of polycrystalline layers of zinc oxide coated with aluminum oxide using ultraviolet and X-ray photoelectron spectroscopy is presented. Based on the results of photoelectron spectroscopy, two main factors for changing the electrical conductivity are proposed, which consist in the formation of a two-dimensional electron gas at the ZnO/Al2O3 interface and doping of the near-surface region of zinc oxide with aluminum atoms. Обнаружен эффект возрастания электропроводности системы наностержней оксида цинка ZnO в 10 5 раз при атомно-слоевом осаждении тонкого диэлектрического слоя оксида алюминия Al 2 O 3 . Показано, что изменение электропроводности ZnO при атомно-слоевом осаждении Al 2 O 3 на поверхность наблюдается также в случае ZnO в виде тонких поликристаллических слоев. Представлено исследование поликристаллических слоев ZnO с покрытием из Al 2 O 3 с помощью ультрафиолетовой и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. На основе результатов фотоэлектронной спектроскопии предложены два основных фактора изменения электропроводности, заключающиеся в образовании двумерного электронного газа на интерфейсе ZnO|Al 2 O 3 и легировании приповерхностной области ZnO атомами алюминия. Ключевые слова: наностержни, оксид цинка, оксид алюминия, атомно-слоевое осаждение, прозрачные электроды, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия.
AB - The effect of an increase in the electrical conductivity of a system of zinc oxide nanorods by a factor of 10^5 during atomic layer deposition of a thin dielectric layer of aluminum oxide was found. It is shown that a change in the electrical conductivity of zinc oxide during atomic layer deposition of aluminum oxide on the surface is also observed for thin polycrystalline layers of zinc oxide. A study of polycrystalline layers of zinc oxide coated with aluminum oxide using ultraviolet and X-ray photoelectron spectroscopy is presented. Based on the results of photoelectron spectroscopy, two main factors for changing the electrical conductivity are proposed, which consist in the formation of a two-dimensional electron gas at the ZnO/Al2O3 interface and doping of the near-surface region of zinc oxide with aluminum atoms. Обнаружен эффект возрастания электропроводности системы наностержней оксида цинка ZnO в 10 5 раз при атомно-слоевом осаждении тонкого диэлектрического слоя оксида алюминия Al 2 O 3 . Показано, что изменение электропроводности ZnO при атомно-слоевом осаждении Al 2 O 3 на поверхность наблюдается также в случае ZnO в виде тонких поликристаллических слоев. Представлено исследование поликристаллических слоев ZnO с покрытием из Al 2 O 3 с помощью ультрафиолетовой и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. На основе результатов фотоэлектронной спектроскопии предложены два основных фактора изменения электропроводности, заключающиеся в образовании двумерного электронного газа на интерфейсе ZnO|Al 2 O 3 и легировании приповерхностной области ZnO атомами алюминия. Ключевые слова: наностержни, оксид цинка, оксид алюминия, атомно-слоевое осаждение, прозрачные электроды, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия.
UR - https://www.mendeley.com/catalogue/91a10d33-ac8d-3a1f-8cd8-e6ea541a6e9f/
U2 - 10.21883/FTT.2022.11.53320.408
DO - 10.21883/FTT.2022.11.53320.408
M3 - статья
VL - 64
SP - 1681
EP - 1689
JO - ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
JF - ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
SN - 0367-3294
IS - 11
ER -
ID: 100517206