Standard

ЦИФРОВОЕ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЕ УВЕЛИЧЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ИНТЕРФЕРОГРАММ. / Балбекин, Николай Сергеевич; Венедиктов, Владимир Юрьевич; Коновалов, Роман Сергеевич.

в: АВТОМЕТРИЯ, Том 56, № 2, 2020, стр. 100-108.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

Harvard

Балбекин, НС, Венедиктов, ВЮ & Коновалов, РС 2020, 'ЦИФРОВОЕ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЕ УВЕЛИЧЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ИНТЕРФЕРОГРАММ', АВТОМЕТРИЯ, Том. 56, № 2, стр. 100-108. <http://elibrary.ru/item.asp?id=42830820>

APA

Балбекин, Н. С., Венедиктов, В. Ю., & Коновалов, Р. С. (2020). ЦИФРОВОЕ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЕ УВЕЛИЧЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ИНТЕРФЕРОГРАММ. АВТОМЕТРИЯ, 56(2), 100-108. http://elibrary.ru/item.asp?id=42830820

Vancouver

Балбекин НС, Венедиктов ВЮ, Коновалов РС. ЦИФРОВОЕ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЕ УВЕЛИЧЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ИНТЕРФЕРОГРАММ. АВТОМЕТРИЯ. 2020;56(2):100-108.

Author

Балбекин, Николай Сергеевич ; Венедиктов, Владимир Юрьевич ; Коновалов, Роман Сергеевич. / ЦИФРОВОЕ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЕ УВЕЛИЧЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ИНТЕРФЕРОГРАММ. в: АВТОМЕТРИЯ. 2020 ; Том 56, № 2. стр. 100-108.

BibTeX

@article{654831fe7a804ba6937e306ce997085d,
title = "ЦИФРОВОЕ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЕ УВЕЛИЧЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ИНТЕРФЕРОГРАММ",
abstract = "Представлены результаты экспериментальных исследований и схемы записи голограмм цифровым способом с использованием пространственных модуляторов света. Описано применение голографических интерференционных методов для измерения неровностей наномасштаба на примере наноступеньки (высотой 70 нм и шириной 30 мкм). Приведены примеры реализации метода увеличения чувствительности для измерений наноступеньки и метода крюков цифровым способом. Доказана вероятность реализации метода коррекции внутренних искажений системы в интерферометре. Показано, что применение голографических интерференционных методов с использованием цифровой обработки голограмм позволяет повысить чувствительность интерферограмм без потери основной информации об объекте и без увеличения точности измерений.",
keywords = "amplification of interferograms, correction distortions, hologram, holographic interferometry, nanometrology, Rozhdestvenskii hooks, spatial light modulator, голограмма, голографическая интерферометрия, коррекция искажений, крюки Рождественского, нанометрология, пространственный модулятор света, усиление интерферограмм, amplification of interferograms, correction distortions, hologram, holographic interferometry, nanometrology, Rozhdestvenskii hooks, spatial light modulator, голограмма, голографическая интерферометрия, коррекция искажений, крюки Рождественского, нанометрология, пространственный модулятор света, усиление интерферограмм",
author = "Балбекин, {Николай Сергеевич} and Венедиктов, {Владимир Юрьевич} and Коновалов, {Роман Сергеевич}",
year = "2020",
language = "русский",
volume = "56",
pages = "100--108",
journal = "АВТОМЕТРИЯ",
issn = "0320-7102",
publisher = "Izdatel'stvo Sibirskoe Otdelenie Rossiiskoi Akademii Nauk",
number = "2",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - ЦИФРОВОЕ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЕ УВЕЛИЧЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ИНТЕРФЕРОГРАММ

AU - Балбекин, Николай Сергеевич

AU - Венедиктов, Владимир Юрьевич

AU - Коновалов, Роман Сергеевич

PY - 2020

Y1 - 2020

N2 - Представлены результаты экспериментальных исследований и схемы записи голограмм цифровым способом с использованием пространственных модуляторов света. Описано применение голографических интерференционных методов для измерения неровностей наномасштаба на примере наноступеньки (высотой 70 нм и шириной 30 мкм). Приведены примеры реализации метода увеличения чувствительности для измерений наноступеньки и метода крюков цифровым способом. Доказана вероятность реализации метода коррекции внутренних искажений системы в интерферометре. Показано, что применение голографических интерференционных методов с использованием цифровой обработки голограмм позволяет повысить чувствительность интерферограмм без потери основной информации об объекте и без увеличения точности измерений.

AB - Представлены результаты экспериментальных исследований и схемы записи голограмм цифровым способом с использованием пространственных модуляторов света. Описано применение голографических интерференционных методов для измерения неровностей наномасштаба на примере наноступеньки (высотой 70 нм и шириной 30 мкм). Приведены примеры реализации метода увеличения чувствительности для измерений наноступеньки и метода крюков цифровым способом. Доказана вероятность реализации метода коррекции внутренних искажений системы в интерферометре. Показано, что применение голографических интерференционных методов с использованием цифровой обработки голограмм позволяет повысить чувствительность интерферограмм без потери основной информации об объекте и без увеличения точности измерений.

KW - amplification of interferograms

KW - correction distortions

KW - hologram

KW - holographic interferometry

KW - nanometrology

KW - Rozhdestvenskii hooks

KW - spatial light modulator

KW - голограмма

KW - голографическая интерферометрия

KW - коррекция искажений

KW - крюки Рождественского

KW - нанометрология

KW - пространственный модулятор света

KW - усиление интерферограмм

KW - amplification of interferograms

KW - correction distortions

KW - hologram

KW - holographic interferometry

KW - nanometrology

KW - Rozhdestvenskii hooks

KW - spatial light modulator

KW - голограмма

KW - голографическая интерферометрия

KW - коррекция искажений

KW - крюки Рождественского

KW - нанометрология

KW - пространственный модулятор света

KW - усиление интерферограмм

M3 - статья

VL - 56

SP - 100

EP - 108

JO - АВТОМЕТРИЯ

JF - АВТОМЕТРИЯ

SN - 0320-7102

IS - 2

ER -

ID: 78564166