описание

Моделирование кинетических и потенциальных эффектов налетающего иона на микроструктуру тонкой пленки.

основные результаты по проекту в целом

Проект поспособствовал началу кооперации между группой низкотемпературной плазмы из СПбГУ и группой инженерии плазмы из IOM Leipzig. Были изучены различные методы для описания взаимодействия иона с поверхностью, и выбраны целесообразные подходы. На основании этих подходов был прототипирован алгоритм расчета, включающий в себя две независимых модели: движения иона навстречу поверхности с учетом основных механизмов обмена энергией между ними, и моделирования диссипации энергии в поверхности с учетом оценок из первой модели.
АкронимGRISC_2019
СтатусЗавершено
Эффективные даты начала/конца1/10/1930/11/19

    Области исследований

  • Мультизарядные ионы, Тонкие пленки, Напыление

ID: 49890624